Козлов А.А. «Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме»

Козлов Андрей Андреевич
Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме
1.3.8. – Физика конденсированного состояния
Физико-математические науки
Отзывы отправлять по адресу: Пермский государственный национальный исследовательский университет
614068, г. Пермь, ГСП, ул. Букирева, 15, Диссертационный совет 24.2.358.03, Ученому секретарю А.В.Сосунову
Тел. +7 (342) 239-61-21, +7 (342) 239-62-27, +7 (342) 239-62-08
E-mail: Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.; Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Предполагаемая дата защиты диссертации – 14 ноября 2024 года
Диссертация размещена на сайте ПГНИУ 05 июля 2024 года
Скачать автореферат (pdf)
Опубликовано 2 сентября 2024 года

Посмотреть все документы диссертанта