Разработка выпускницы ПГНИУ повысит технологичность производства фотонных интегральных схем

Выпускница физического факультета ПГНИУ, старший научный сотрудник Центра компетенций НТИ «Фотоника» Ульяна Салгаева разработала новую технологию обработки оптических материалов в водородной плазме. Разработка ученого повышает технологичность процесса изготовления элементов фотонных интегральных схем (ФИС), что делает технологию доступнее для использования в системах связи, навигации и медицине.

«В технологиях производства микроэлектроники наблюдается тенденция перехода от так называемых “мокрых” (жидкостных) химических процессов, то есть тех, в которых используются растворы кислот, щелочей, к “сухим” плазмохимическим процессам. Аналогичная тенденция наблюдается и в технологиях производства ФИС», – комментирует кандидат физико-математических наук Ульяна Салгаева.

В основе технологии, предложенной Ульяной, лежит обработка оптических материалов в водородной плазме. В ходе работы она выявила, что водородная плазма воздействует на свойства материалов комплексно с рядом необычных эффектов. Одним из таких эффектов является увеличение объема приповерхностных слоев. Это позволяет создавать оптические элементы ФИС, например, дифракционные решетки в тонком приповерхностном слое материала, без существенного повреждения структуры нижележащих слоев.

Кроме того, ученый отмечает, что новая технология делает производство более экологичным и безопасным для персонала и уменьшает количества брака при производстве ФИС. Исследование было проведено в рамках подготовки диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Исследование было проведено под руководством доктора физико-математических наук, заведующего кафедрой нанотехнологий и микросистемной техники ПГНИУ Анатолия Волынцева.

Технологию уже начали использовать на нескольких пермских предприятиях, работающих в сфере оптоэлектроники.
 

Центр компетенций НТИ «Фотоника»